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臺灣液化空氣合資公司突發(fā)大火

據(jù)臺媒報道,今日上午10點20分,位于中國臺灣新竹科學園區(qū)的亞東氣體發(fā)生起火事件?;饎菰谏衔?1時許一度變得十分猛烈,整棟廠房都被大火及濃煙吞噬。根據(jù)當?shù)鼐用裾f法,疑似聽到3聲爆炸聲,后續(xù)工廠就不斷冒出火光和濃煙,甚至數(shù)公里外都看得見。

氣體圈子
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亞東氣體指出,目前工廠停工、無人員傷亡,目前也沒有供應氣體,無氣體擴散疑慮,但因火勢燃燒超過1小時,廠房RC結構恐怕受損,還需要待火勢撲滅后,才能確認是否有倒塌疑慮,以及厘清起火原因。

臺積電、聯(lián)電等半導體業(yè)晶圓廠制程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣,還有制程中CVD、Etch會用到特殊氣體,亞東氣體均有供應,是否會影響到半導體的氣體供應,有待災損的情況而定。

現(xiàn)場救災人員表示,這是多年來竹科園最嚴重的火災案,因變壓器故障引發(fā)爆炸起火,內中有很多絕緣油,這非常難滅,目前約動員1百多個消防人員救災中,整棟廠房尚在燃燒中。

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圖片來源:網(wǎng)絡

外傳因亞東氣體大火造成竹科大規(guī)模停電?對此,竹科管理局表示,亞東氣體廠區(qū)內變電器發(fā)生火災,連帶影響竹科發(fā)生C級壓降,目前警消人員已緊急前往灌救和處理。據(jù)臺電壓降等級分類,C級壓降是壓降持續(xù)時間落于0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。

關于當日上午發(fā)生的短暫壓降,世界先進回復說,公司部分機臺有停機進行檢查,目前已陸續(xù)復機中,對生產(chǎn)影響有限。力積電表示,有加裝不斷電系統(tǒng)的機臺,隨即馬上啟動,但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響,實際的報廢晶圓片還在評估中,但依照過去經(jīng)驗來看,通常影響不大,且認為明天應該都會恢復正常。臺積電、聯(lián)電則表示,由于壓降時間非常短,產(chǎn)線未受影響,目前生產(chǎn)一切正常。


亞東氣體(Air Liquide Far Eastern) 是由法國液化空氣集團與遠紡集團于1987年在臺灣成立的合資公司。2020年,法液空集團宣布投資2億歐元分別在臺灣的臺南和新竹科學園建設工廠,包括為新竹科技園的一些邏輯IC芯片研發(fā)工廠供氣。據(jù)悉,法液空通過其控股的遠東氣體在新竹建設兩個大型工廠主要生產(chǎn)高純氮氣和氬氣,新增12萬標準立方米/小時的高純氮氣。